Полупроводниковые сенсоры высоких, низких и быстропеременных давлений

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции С. 298-301
Другие авторы:	Иванов, Евгений Валерьевич, Изаак, Татьяна Ивановна, Криворотов, Николай Павлович, Ромась, Лариса Михайловна, Свинолупов, Юрий Григорьевич, Щеголь, Сергей Степанович
Формат:	Статья в сборнике
Язык:	Russian
Предметы:	физика полупроводников полупроводники полупроводниковые приборы полупроводниковые сенсоры арсенид галлия кремний объмочувствительные элементы сенсоры давления экспериментальные исследования полупроводниковые материалы труды ученых ТГУ
Online-ссылка:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы