Влияние обработки в низкоэнергетической плазме CF4 и последующего отжига на образование дефектов в псевдоморфных GaAs/AlGaAs/InGaAs/GaAs гетерострукткрах для мощных сверхвысокочастотных транзисторов

Bibliographic Details
Published in:	Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции С. 315-317
Other Authors:	Шамирзаев, Тимур Сезгирович, Журавлев, Константин Сергеевич, Торопов, Александр Иванович (Вьюганов, Ф. В.), Бакаров, Асхат Климович
Format:	Book Chapter
Language:	Russian
Subjects:	физика полупроводников полупроводники полупроводниковые приборы микроэлектронные приборы электронные устройства СВЧ транзисторы арсенид галлия гетероструктуры экспериментальные исследования полупроводниковые материалы
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items