Удаление остаточного резиста с поверхности арсенида галлия в кислород- или водоросрдержащих средах

Bibliographic Details
Published in:	Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции С. 352-354
Other Authors:	Анищенко, Екатерина Валентиновна, Диамант, В. М, Кагадей, Валерий Алексеевич, Нефедцев, Евгений Валерьевич, Оскомов, Константин Владимирович, Проскуровский, Дмитрий Ильич, Романенко, Святослав Валерьевич
Format:	Book Chapter
Language:	Russian
Subjects:	физика полупроводников полупроводники полупроводниковые приборы резисты интегральные схемы арсенид галлия атомарный водород кислородсодержащие среды водородсодержащие среды экспериментальные исследования полупроводниковые материалы труды ученых ТГУ

Similar Items