Автоматизация вакуумной обработки GaAs фотокатодов в промышленной установке сборки приборов

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции С. 363
Другие авторы:	Емельянов, Александр Александрович, Иванов, Д. В, Чуборев, В. Г., Терехов, Александр Сергеевич, Шайблер, Генрих Эрнстович
Формат:	Статья в сборнике
Язык:	Russian
Предметы:	физика полупроводников полупроводники полупроводниковые приборы оптоэлектронные приборы солнечные элементы арсенид галлия GaAs-фотокатоды вакуумная обработка фотоэлектронные приборы фотокатодные камеры экспериментальные исследования полупроводниковые материалы
Online-ссылка:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы