Физические особенности функционирования планарного магнетрона с нагреваемой в разряде термоизолированной мишенью для нанесения покрытий на основе бора

Представлены принцип работы и конструкция планарного магнетрона для нанесения покрытий из чистого бора. Особенностью устройства является использование термоизолированного катода-мишени из чистого кристаллического бора, нагреваемого вспомогательным слаботочным разрядом для обеспечения стабильного ф...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 64, № 12. С. 3-10
Other Authors:	Визирь, Алексей Вадимович, Николаев, Алексей Геннадьевич, Окс, Ефим Михайлович, Фролова, Валерия Петровна, Черкасов, Александр Алексеевич, Шандриков, Максим Валентинович, Юшков, Георгий Юрьевич
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	пленки бора плазма планарные магнетроны нагреваемая мишень из бора статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000725487 Перейти в каталог НБ ТГУ