Структура и свойства многослойных пленок высокоэнтропийных сплавов, полученных ионно-плазменным методом

Рассмотрен метод формирования пленки высокоэнтропийных сплавов (ВЭС), заключающийся в ее осаждении на подложку в вакууме из многокомпонентной газо-металлической плазмы, созданной одновременным независимым вакуумно-дуговым испарением катодов выбранных элементов в режиме с плазменным ассистированием....

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 64, № 12. С. 32-37
Other Authors: Иванов, Юрий Федорович 1955-, Коваль, Николай Николаевич, Ахмадеев, Юрий Халяфович, Углов, Владимир Васильевич, Шугуров, Владимир Викторович, Петрикова, Елизавета Алексеевна, Крысина, Ольга Васильевна, Прокопенко, Никита Андреевич, Ажажа, Иван Иванович
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000725490