Структура и свойства многослойных пленок высокоэнтропийных сплавов, полученных ионно-плазменным методом
Рассмотрен метод формирования пленки высокоэнтропийных сплавов (ВЭС), заключающийся в ее осаждении на подложку в вакууме из многокомпонентной газо-металлической плазмы, созданной одновременным независимым вакуумно-дуговым испарением катодов выбранных элементов в режиме с плазменным ассистированием....
Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 64, № 12. С. 32-37 |
---|---|
Other Authors: | , , , , , , , , |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000725490 |