Влияние условий осаждения на свойства многослойных покрытий на основе нитридов Zr, Ti, Al и Si, синтезированных плазменно-ассистированным катодно-дуговым напылением

Проведено исследование закономерностей формирования многослойных покрытий на основе систем ZrTiN и ZrTiAlSiN. Максимальная твердость полученных покрытий составляет 28 и 29 ГПа соответственно. Результатом снижения скорости вращения от 3 до 1 об/мин является увеличение твердости покрытий систем Z...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 64, № 12. С. 43-48
Other Authors:	Савостиков, Виктор Михайлович, Денисова, Юлия Александровна, Денисов, Владимир Викторович канд. техн. наук, Леонов, Андрей Андреевич, Овчинников, Станислав Владимирович, Савчук, Михаил Викторович
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	многослойное покрытие нитрид циркония нитрид титана плазменное ассистирование катодно-дуговое напыление наноструктурирование статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000725492 Перейти в каталог НБ ТГУ