Влияние условий осаждения на свойства многослойных покрытий на основе нитридов Zr, Ti, Al и Si, синтезированных плазменно-ассистированным катодно-дуговым напылением

Влияние условий осаждения на свойства многослойных покрытий на основе нитридов Zr, Ti, Al и Si, синтезированных плазменно-ассистированным катодно-дуговым напылением

Проведено исследование закономерностей формирования многослойных покрытий на основе систем ZrTiN и ZrTiAlSiN. Максимальная твердость полученных покрытий составляет 28 и 29 ГПа соответственно. Результатом снижения скорости вращения от 3 до 1 об/мин является увеличение твердости покрытий систем Z...

Полное описание

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 64, № 12. С. 43-48
Другие авторы:	Савостиков, Виктор Михайлович, Денисова, Юлия Александровна, Денисов, Владимир Викторович канд. техн. наук, Леонов, Андрей Андреевич, Овчинников, Станислав Владимирович, Савчук, Михаил Викторович
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	многослойное покрытие нитрид циркония нитрид титана плазменное ассистирование катодно-дуговое напыление наноструктурирование статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000725492 Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы

Генерация низкотемпературной плазмы дуговых разрядов низкого давления для синтеза износостойких нитридных покрытий

Осаждение многослойного покрытия в газометаллическом пучково-плазменном образовании при низком давлении

Высокотемпературное плазменное спекание смеси различных фракций продукта плазмодинамического синтеза
по: Евдокимов, Андрей Анатольевич

Исследование процесса классификации порошков нитридов металлов
по: Евсеев, Николай Сергеевич

Синтез однослойных ZrN-покрытий вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным методом с фильтрацией плазменного потока

Модификация поверхности карбидовольфрамового композиционного материала методами электронно-ионно-плазменного воздействия

Необратимый характер реакции осаждения GaN в хлорид-гидридном процессе

Состав композиционного материала, синтезированного сжиганием смеси нанопорошка алюминия с диоксидами титана и циркония в воздухе

Падение эффективности в светодиодных структурах на основе InGaN/GaN при фото- и электролюминесценции
по: Копьев, Виктор Васильевич

Однослойные покрытия на основе молибдена и его нитридов, формируемые вакуумно-дуговым методом: синтез, свойства, структура

Led InGaN/GaN structures with short-period superlattice grown on flat and patterned sapphire substrates

Combustion synthesis of chromium nitrides

Ограничение тока в светодиодах на основе нитридов A3B5 при прямом смещении
по: Прудаев, Илья Анатольевич

Photoluminescence and terahertz generation in InGaN/GaN multiple quantum well light-emitting diode heterostructures under laser excitation

Влияние толщины барьеров светодиодных гетероструктур (0001) InGaN/GaN/Al2O3 на их оптические характеристики

Высокотеплопроводные материалы в электронике СВЧ (по данным отечественной и зарубежной печати за 1977-1987 гг.)
по: Мушкаренко, Юрий Николаевич
Публикация: (1988)

Generation of terahertz radiation in LED heterostructures with multiple InGaN/GaN quantum wells at two-photon excitation by femtosecond

Low-temperature transport of charge carriers in InGaN/GaN multiple quantum well light-emitting diodes
по: Prudaev, Ilya A.

Hopping transport of charge carriers in LEDs based on multiple InGaN/GaN quantum wells

Получение объемных сверхтвердых материалов нитрида титана методом спекания в плазме искрового разряда
по: Усиков, А. И.

Оценка возможности очистки воды от фенольных соединений в условиях каталитического озонирования и УФ излучения с применением композиций B-N-Fe и Si-N-Fe

Temperature dependence of quantum efficiency of InGaN/GaN led structures at high current density

Влияние баллистической утечки на температурную зависимость квантового выхода светодиодов на основе множественных квантовых ям InGaN/GaN

Ростовые дефекты в светодиодных структурах InGaN/GaN
по: Брудный, Валентин Натанович

Коррозийное растрескивание катодно защищаемых газонефтепроводов в процессе длительной эксплуатации
по: Хижняков, Валентин Игнатьевич

Исследование возможности получения водорода в процессах фотокаталитической деградации органических загрязнителей воды с использованием Fe-содержащих композитов

Электронно-микроскопическое исследование влияния легирующих элементов на микроструктуру покрытий TiN-Me, полученных методами ионно-плазменного напыления
по: Мошков, Владимир Юрьевич

Неравновесное состояние нитридокерамических диэлектриков после имплантации ионов
по: Кабышев, Александр Васильевич

Высокоизносостойкие покрытия на основе нитридов и карбоборидов тугоплавких металлов
по: Луговая, В. А.

Modification of the microstructure of TiN-based columnar coatings in indentation zones
по: Ovchinnikov, Stanislav V.

Pd catalysts supported on silicon nitride for the combustion of methane: influence of the crystalline and amorphous phases of the support and of the preparation method on the catalytic performances

Эпитаксиальные слои GaN, выращенные хлорид-гидридным методом, и их свойства

Оптические функции и электронная структура гексагонального w-GaN
по: Стерхова, М. А.

Фотокаталитическое разрушение органических загрязнителей воды с использованием Fe-содержащих природных и синтетических материалов

Total oxidation of methane over Pd catalysts supported on silicon nitride influence of support nature

Study of influence of aluminum nitride nanoparticles on the structure, phase composition and mechanical properties of AZ91 alloy

Отжиг нитрида галлия при электронно-лучевой обработке
по: Баровский, Н. В.

Structure and deformation characteristics in magnesium alloy ZK51A reinforced with AlN nanoparticles

Температурная зависимость интегральной интенсивности фотолюминесценции светодиодных структур на основе InGaN/GaN

Физико-химические и структурные исследования продукта порошковой смеси Si3N4 и AlN плазмохимическим способом