Экспериментальное исследование изменения параметров растущих двумерных пленок с толщиной при их эпитаксиальном выращивании

Целью данной работы является определение кинетики изменения параметров растущих двумерных пленок с толщиной при их эпитаксиальном выращивании. Для этого в работе проводилось эпитаксиальное выращивание напряженных двумерных слоев германия и твердого раствора германия-кремния различного состава, а так...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Фотоника 2021 : Российская конференция и школа молодых ученых по актуальным проблемам полупроводниковой фотоэлектроники (с участием иностранных ученых), 4-8 октября 2021 г., Новосибирск : тезисы докладов С. 99
Other Authors:	Коханенко, Андрей Павлович, Дирко, Владимир Владиславович, Кукенов, Олжас Игоревич, Соколов, Арсений Сергеевич
Format:	Book Chapter
Language:	Russian
Subjects:	экспериментальные исследования двумерные пленки эпитаксиальное выращивание статьи в сборниках
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000891043