Особенности имплантации ионов аргона и азота в эпитаксиальные пленки КРТ, выращенные методом МЛЭ

Bibliographic Details
Published in:	Современные проблемы физики, технологии и инновационного развития : сборник статей молодых ученых С. 81-83
Main Author:	Григорьев, Денис Валерьевич
Format:	Book Chapter
Language:	Russian
Subjects:	физика полупроводников физика диэлектриков полупроводниковые низкоразмерные структуры физика полупроводниковых низкоразмерных структур технология полупроводниковых низкоразмерных структур эпитаксиальные пленки кадмий-ртуть-теллур имплантация ионов аргона имплантация молекулярного азота молекулярно-лучевая эпитаксия экспериментальные исследования труды ученых ТГУ
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items