Методы оценки концентрации плазмы в полом аноде большого объема
Представлены результаты исследования тлеющего разряда низкого давления с полым катодом и полым анодом большого объема в аргоне и азоте. Получены данные по концентрации плазмы и температуре электронов в анодной полости. Предложена модель, объясняющая механизмы поддержания плазмы в полом аноде, учитыв...
Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 65, № 7. С. 112-118 |
---|---|
Other Authors: | , , , |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000898673 |