Методы оценки концентрации плазмы в полом аноде большого объема

Представлены результаты исследования тлеющего разряда низкого давления с полым катодом и полым анодом большого объема в аргоне и азоте. Получены данные по концентрации плазмы и температуре электронов в анодной полости. Предложена модель, объясняющая механизмы поддержания плазмы в полом аноде, учитыв...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 65, № 7. С. 112-118
Other Authors: Ландль, Николай Владимирович, Королев, Юрий Дмитриевич 1945-, Козырев, Андрей Владимирович физик, Лопатин, Илья Викторович
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000898673