Исследования комплексного дефектообразования в кремнии, легированном никелем
Методами нестационарной емкостной спектроскопии (DLTS) и комбинационного рассеяния света (рамановская спектроскопия) изучено поведение примесей никеля и водорода в кремнии. Показано, что колебания атомов Ni и Н в Si находятся в диапазоне 925-985 см-1. В спектрах DLTS в кремнии n- и p-типа, диффуз...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 65, № 9. С. 126-130 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000901483 Перейти в каталог НБ ТГУ |