|
|
|
|
| LEADER |
03676nab a2200373 c 4500 |
| 001 |
koha000925011 |
| 005 |
20241104202746.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
221205|2022 ru s c rus d |
| 024 |
7 |
|
|a 10.17223/00213411/65/11/31
|2 doi
|
| 035 |
|
|
|a koha000925011
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Энергетическое воздействие на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN
|c А. С. Гренадёров, А. Н. Захаров, В. О. Оскирко [и др.]
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 24 назв.
|
| 506 |
|
|
|a Ограниченный доступ
|
| 520 |
3 |
|
|a Получены зависимости плотности потока энергии на подложку и удельной энергии, сообщаемой покрытию, от коэффициента заполнения импульсов разрядного тока в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN. Показано, что при уменьшении коэффициента заполнения импульсов разрядного тока с 40 до 6% поток энергии на подложку увеличивается на 20–30% при неизменной средней мощности разряда. В совокупности со снижением скорости осаждения покрытий в режиме высокой импульсной мощности происходит шестикратное увеличение удельной энергии, которую получает покрытие в процессе роста. Таким образом, регулировку коэффициента заполнения импульсов разрядного тока можно рассматривать в качестве способа управления энергетическим воздействием на напыляемое покрытие, от которого зависят его структура и свойства. Показано, что покрытия TiAlN, полученные при низких значениях коэффициента заполнения импульсов разрядного тока и высоком уровне энергетического воздействия на подложку, обладают высокой твердостью и износостойкостью.
|
| 653 |
|
|
|a дуальное магнетронное распыление
|
| 653 |
|
|
|a потоки энергии
|
| 653 |
|
|
|a экспериментальные исследования
|
| 653 |
|
|
|a покрытия
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Гренадеров, Александр Сергеевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Захаров, Александр Николаевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Оскирко, Владимир Олегович
|
| 700 |
1 |
|
|a Сиделев, Дмитрий Владимирович
|
| 700 |
1 |
|
|a Оскомов, Константин Владимирович
|
| 700 |
1 |
|
|a Соловьев, Андрей Александрович
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2022
|g Т. 65, № 11. С. 31-37
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000925011
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 925011
|d 925011
|
