Численное моделирование динамики температурных полей в монокристаллическом кремнии при импульсно-периодической высокоинтенсивной ионной имплантации и энергетическом воздействии пучка на поверхность

Методы модификации поверхностных и приповерхностных слоев материалов и покрытий ионными пучками находят применение во многих областях науки и техники. Метод высокоинтенсивной имплантации пучками ионов высокой плотности мощности субмиллисекундной длительности предполагает значительный импульсный разо...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 65, № 11. С. 65-69
Other Authors:	Иванова, Анна Ивановна, Блейхер, Галина Алексеевна, Вахрушев, Димитрий Олегович, Корнева, Ольга Сергеевна
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	математическое моделирование кремний ионная имплантация температурные градиенты статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000925026