Влияние процентного содержания аргона в смеси газов Ar-N2 на относительное количество частиц Ar+, N2+, N и N+ в плазме несамостоятельного тлеющего разряда низкого давления с полым катодом

Представлены результаты исследований аргон-азотной плазмы несамостоятельного тлеющего разряда низкого давления с полым катодом методом оптической эмиссионной спектрометрии. Плазма генерировалась при напуске смеси газов Ar-N2 с процентным содержанием аргона от 0 до 100% при общем давлении 1 Па. Т...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 65, № 11. С. 70-76
Other Authors:	Ковальский, Сергей Сергеевич, Денисов, Владимир Викторович канд. техн. наук, Островерхов, Евгений Владимирович, Прокопьев, Владимир Егорович
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	аргон тлеющие разряды полые катоды экспериментальные исследования статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000925027 Перейти в каталог НБ ТГУ