Исследование влияния стехиометрического состава покрытия и режимов термообработки на фазовый состав покрытий системы Y–Al–O

Представлены результаты исследований покрытий системы Y–Al–O, полученные вакуумно-дуговым методом при одновременном осаждении из двух электродуговых испарителей с однокомпонентными катодами Y и Al. Были подобраны три различных режима осаждения. После осаждения покрытия образцы были отожжены в вакуум...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 65, № 11. С. 107-115
Other Authors:	Назаров, Алмаз Юнирович, Хусаинова, Алина Мансуровна, Маслов, Алексей Андреевич, Рамазанов, Камиль Нуруллаевич, Сыртанов, Максим Сергеевич, Николаев, Алексей Александрович, Тулина, Анжела Александровна, Варданян, Эдуард Леонидович
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	вакуумно-дуговое осаждение многослойные покрытия термобарьерные покрытия плазменная обработка статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000925144