Формирование мощных импульсных пучков ионов титана субмиллисекундной длительности из плазмы вакуумной дуги

Развитие метода улучшения эксплуатационных свойств различных материалов, основанного на синергии высокоинтенсивной имплантации ионов и одновременного энергетического воздействия на поверхность, нацелено на создание глубоких ионно-легированных слоев. Для реализации этого метода необходимы импульсно-п...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 65, № 11. С. 138-144
Other Authors:	Рябчиков, Александр Ильич, Дектярев, Сергей Валентинович, Корнева, Ольга Сергеевна, Вахрушев, Димитрий Олегович
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	ионные пучки плазма вакуумной дуги ионная имплантация экспериментальные исследования статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000925160