Газочувствительные свойства пленок твердого раствора In2O3-Ga2O3

Исследовано влияние состава газовой среды на электропроводящие свойства пленок In2O3-Ga2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 100-550oC пленки In2O3-Ga2O3 проявляют высокую чувствительность к H2, NH3 и CO, характеризуются высоким быстродействием и низким...

Полное описание

Библиографическая информация

Опубликовано в: :	Письма в журнал технической физики Т. 48, № 14. С. 37-41
Другие авторы:	Николаев, Владимир Иванович, Алмаев, Алексей Викторович, Кушнарев, Богдан Олегович, Печников, Алексей Игоревич, Степанов, Сергей Игоревич, Чикиряка, Андрей Владимирович, Тимашов, Роман Борисович, Щеглов, Михаил Петрович, Бутенко, Павел Николаевич, Черников, Евгений Викторович
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	оксиды металлов электропроводящие пленки хлоридная газофазная эпитаксия газовая чувствительность статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000998927 Перейти в каталог НБ ТГУ