Газочувствительные свойства пленок твердого раствора In2O3-Ga2O3
Исследовано влияние состава газовой среды на электропроводящие свойства пленок In2O3-Ga2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 100-550oC пленки In2O3-Ga2O3 проявляют высокую чувствительность к H2, NH3 и CO, характеризуются высоким быстродействием и низким...
| Published in: | Письма в журнал технической физики Т. 48, № 14. С. 37-41 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000998927 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02843nab a2200433 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha000998927 | ||
| 005 | 20240723113530.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 230324|2022 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.21883/PJTF.2022.14.52869.19211 |2 doi | |
| 035 | |a koha000998927 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Газочувствительные свойства пленок твердого раствора In2O3-Ga2O3 |c В. И. Николаев, А. В. Алмаев, Б. О. Кушнарев [и др.] |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 25 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Исследовано влияние состава газовой среды на электропроводящие свойства пленок In2O3-Ga2O3, полученных методом хлоридной газофазной эпитаксии. В интервале температур 100-550oC пленки In2O3-Ga2O3 проявляют высокую чувствительность к H2, NH3 и CO, характеризуются высоким быстродействием и низким базовым сопротивлением. Предложен качественный механизм чувствительности пленок In2O3-Ga2O3 к газам. | |
| 653 | |a оксиды металлов | ||
| 653 | |a электропроводящие пленки | ||
| 653 | |a хлоридная газофазная эпитаксия | ||
| 653 | |a газовая чувствительность | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 881443 | |
| 700 | 1 | |a Николаев, Владимир Иванович |9 426898 | |
| 700 | 1 | |a Алмаев, Алексей Викторович |9 94842 | |
| 700 | 1 | |a Кушнарев, Богдан Олегович |9 230421 | |
| 700 | 1 | |a Печников, Алексей Игоревич |9 811095 | |
| 700 | 1 | |a Степанов, Сергей Игоревич |9 811093 | |
| 700 | 1 | |a Чикиряка, Андрей Владимирович |9 881448 | |
| 700 | 1 | |a Тимашов, Роман Борисович |9 881449 | |
| 700 | 1 | |a Щеглов, Михаил Петрович |9 881450 | |
| 700 | 1 | |a Бутенко, Павел Николаевич |9 510273 | |
| 700 | 1 | |a Черников, Евгений Викторович |9 86739 | |
| 773 | 0 | |t Письма в журнал технической физики |d 2022 |g Т. 48, № 14. С. 37-41 |x 0320-0116 |w 0028-42260 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000998927 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=998927 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 039 | |b 100 | ||
| 999 | |c 998927 |d 998927 | ||