Основы технологии материалов микроэлектроники Учебно-методическая литература
В пособии кратко изложены основные представления о технологи-ческих методах и процессах используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано с...
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Новосибирск
Новосибирский государственный технический университет (НГТУ)
2010
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
