Основы технологии материалов микроэлектроники Учебно-методическая литература
В пособии кратко изложены основные представления о технологи-ческих методах и процессах используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано с...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Новосибирск
Новосибирский государственный технический университет (НГТУ)
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
