Влияние ионной обработки в процессе ВЧ магнетронного распыления на толщину и показатель преломления ITO плёнок Статья

Влияние ионной обработки в процессе ВЧ магнетронного распыления на толщину и показатель преломления ITO плёнок Статья

Show other versions (1)
Bibliographic Details
Main Author: Зайцева, Е.
Other Authors: Закирова, Р.М., Константин Сергеевич, Крылов, П.Н., Ирина, Лебедев, Федотова
Format: Book
Language:Russian
Published: Ижевск ФГБОУ ВПО "Удмуртский Государственный университет" 2012
Subjects:
Физико-математические науки > Физика твердого тела. Кристаллография
Статья
Online Access:ЭБС Знаниум
ЭБС Знаниум
Перейти в каталог НТБ ТГАСУ

Similar Items

Similar Items