Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии Учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой режимы обработки процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев отжига и легирования полупроводниковых структур формирование контактно-металлизационной системы планаризация. а также получение...
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Ростов-на-Дону
Издательство Южного федерального университета (ЮФУ)
2017
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
