Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии Учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой режимы обработки процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев отжига и легирования полупроводниковых структур формирование контактно-металлизационной системы планаризация. а также получение...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Ростов-на-Дону
Издательство Южного федерального университета (ЮФУ)
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| Summary: | В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой режимы обработки процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев отжига и легирования полупроводниковых структур формирование контактно-металлизационной системы планаризация. а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника. 11.04.03 -Конструирование и технология электронных средств. 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе Лучевые процессы нанотехнологии. |
|---|---|
| Physical Description: | 104 с. |
| ISBN: | 9785927523955 |