Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии Учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой режимы обработки процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев отжига и легирования полупроводниковых структур формирование контактно-металлизационной системы планаризация. а также получение...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Ростов-на-Дону
Издательство Южного федерального университета (ЮФУ)
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| LEADER | 02844nam a22003251 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 0493 | ||
| 005 | 20230301230108.0 | ||
| 007 | cr bn uu|uu | ||
| 008 | 190810s2017 ru | 000 0 rus d | ||
| 020 | |a 9785927523955 | ||
| 040 | |a RU-ToGUA |b rus |c RU-ToGUA |e PSBO | ||
| 080 | |a 621 | ||
| 084 | |a 328 |2 rubbk | ||
| 084 | |a 11.04.04 |2 okso | ||
| 084 | |a 11.04.03 |2 okso | ||
| 084 | |a 28.04.01 |2 okso | ||
| 100 | 1 | |a Светличный, Александр Михайлович |9 235119 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии |h [Электронный ресурс] |b Учебное пособие |c Южный федеральный университет |
| 260 | |a Ростов-на-Дону |b Издательство Южного федерального университета (ЮФУ) |c 2017 | ||
| 300 | |a 104 с. | ||
| 520 | 3 | |a В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой режимы обработки процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев отжига и легирования полупроводниковых структур формирование контактно-металлизационной системы планаризация. а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника. 11.04.03 -Конструирование и технология электронных средств. 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе Лучевые процессы нанотехнологии. | |
| 540 | |a ВО - Магистратура | ||
| 650 | 4 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |2 local | |
| 655 | 0 | 4 | |a Учебное пособие |2 local |9 12755 |
| 700 | 1 | |a Житяев, Игорь Леонидович |9 185004 | |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=339519 |y ЭБС Знаниум | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/1020 |f 1020493.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/1020/1020493.jpg |y ЭБС Знаниум |
| 856 | |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=714911 | ||
| 999 | |c 714911 |d 714911 | ||
| 039 | |z 2 |b 2 | ||