Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии Учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой режимы обработки процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев отжига и легирования полупроводниковых структур формирование контактно-металлизационной системы планаризация. а также получение...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Ростов-на-Дону
Издательство Южного федерального университета (ЮФУ)
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
