Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства Учебное пособие
Рассмотрены математические модели которые описывают приборные полупроводниковые структуры технологические процессы их создания и программные средства обеспечивающие приборно-технологическое моделирование. Предназначено для магистрантов направления подготовки 110404 Электроника и наноэлектроника. Мож...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Красноярск
Сибирский федеральный университет
2020
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
