Вакуумная ионно-плазменная обработка Учебное пособие
Рассматриваются актуальные вопросы формирования потоков газовой и металлической плазмы равномерность их распределения в рабочем объеме камер вакуумных установок а также изменения конденсата металлической плазмы при формировании структур и свойств модифицированных поверхностных слоев однослойных...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
Издательский дом "Альфа-М"
2022
|
| Edition: | 1 |
| Series: | Современные технологии: Магистратура
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
