Материалы и элементы электронной техники: Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев практикум
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Mat...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Москва
МИСиС
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Консультант студента Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |