Материалы и элементы электронной техники. Тонкопленочные многослойные структуры и солнечные элементы на основе гидрогенизированного аморфного и нанокристаллического кремния учебно-методическое пособие
В учебном пособии рассмотрены базовые технологические процессы, использующиеся при изготовлении тонкопленочных многослойных структур и солнечных элементов на основе гидрогенизированного аморфного и нанокристаллического кремния. Приведены конструктивные особенности таких приборов. Для усвоения предл...
Main Author: | |
---|---|
Format: | Book |
Published: |
Москва
МИСиС
2007
|
Subjects: | |
Online Access: | ЭБС Консультант студента Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |