Фотоника и оптоинформатика
В учебном пособии рассмотрены основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники. В том числе кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах; физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронн...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
ТУСУР
2012
|
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
