Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие
В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение...
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск
ТПУ
2008
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
