Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие

В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение...

Full description

Bibliographic Details
Main Author: Кривобоков, В. П.
Other Authors: Сочугов, Н. С., Соловьев, А. А.
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск ТПУ 2008
Subjects:
Online Access:ЭБС Лань
ЭБС Лань
Перейти в каталог НТБ ТГАСУ
Description
Summary:В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.
Item Description:Рекомендовано в качестве учебного пособия Редакционно-издательским советом Томского политехнического университета
Physical Description:136 с.