Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие
В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение...
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | , |
Format: | Book |
Language: | Russian |
Published: |
Томск
ТПУ
2008
|
Subjects: | |
Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
Summary: | В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий. |
---|---|
Item Description: | Рекомендовано в качестве учебного пособия Редакционно-издательским советом Томского политехнического университета |
Physical Description: | 136 с. |