Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие
В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
ТПУ
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| LEADER | 03896nam a22005411 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 005 | 20230306222908.0 | ||
| 007 | cr bn uu|uu | ||
| 008 | 200604s2008 ru Wk 000 m rus d | ||
| 040 | |a RU-ToGUA |b rus |c RU-ToGUA |e PSBO | ||
| 080 | |a 537.5 | ||
| 084 | |a 30.61 |2 rubbk | ||
| 100 | 1 | |a Кривобоков, В. П. | |
| 245 | 1 | 0 | |a Плазменные покрытия (свойства и применение) |h Электронный ресурс |b учебное пособие |c Кривобоков В. П., Сочугов Н. С., Соловьев А. А. |
| 260 | |a Томск |b ТПУ |c 2008 | ||
| 300 | |a 136 с. | ||
| 500 | |a Рекомендовано в качестве учебного пособия Редакционно-издательским советом Томского политехнического университета | ||
| 520 | 3 | |a В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий. | |
| 540 | |a Книга из коллекции ТПУ - Физика | ||
| 650 | 4 | |a гидрофобные поверхности |9 148048 | |
| 650 | 4 | |a низкоэмиссионные покрытия |9 257560 | |
| 650 | 4 | |a интерференционные фильтры |9 257561 | |
| 650 | 4 | |a гидрофильные покрытия |9 257562 | |
| 650 | 4 | |a труды учёных тпу |9 255728 | |
| 650 | 4 | |a учебные пособия |9 78645 | |
| 650 | 4 | |a декоративные покрытия | |
| 650 | 4 | |a интерференционные зеркала |9 257563 | |
| 650 | 4 | |a плазменные покрытия |9 48035 | |
| 650 | 4 | |a плазменные технологии |9 43071 | |
| 650 | 4 | |a подготовка |9 61689 | |
| 650 | 4 | |a нанесение |9 257564 | |
| 650 | 4 | |a поверхности |9 44468 | |
| 650 | 4 | |a применение |9 42083 | |
| 650 | 4 | |a физические свойства |9 50650 | |
| 650 | 4 | |a углеродные покрытия |9 166962 | |
| 650 | 4 | |a коррозионно-эрозионностойкие покрытия |9 257565 | |
| 650 | 4 | |a алмазоподобные покрытия |9 257566 | |
| 650 | 4 | |a износостойкость |9 69022 | |
| 650 | 4 | |a химические свойства |9 58601 | |
| 650 | 4 | |a механические свойства |9 42085 | |
| 650 | 4 | |a оптические покрытия |9 123604 | |
| 695 | |i учебная | ||
| 700 | 1 | |a Сочугов, Н. С. |9 257567 | |
| 700 | 1 | |a Соловьев, А. А. |9 89053 | |
| 856 | 4 | |u http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10268 |y ЭБС Лань | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/10268.jpg |y ЭБС Лань |
| 856 | |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=736820 | ||
| 999 | |c 736820 |d 736820 | ||
| 039 | |z 2 |b 2 | ||