Плазменные покрытия (свойства и применение) учебное пособие

В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы в вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение...

Полное описание

Библиографическая информация
Главный автор: Кривобоков, В. П.
Другие авторы: Сочугов, Н. С., Соловьев, А. А.
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск ТПУ 2008
Предметы:
Online-ссылка:ЭБС Лань
ЭБС Лань
Перейти в каталог НТБ ТГАСУ

Похожие документы