Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности Физика...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2008
|
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
