Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности Физика...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2008
|
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| Summary: | Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения тонких пленок, исследованию их свойств, изготовлению и применению изделий из них. Учебное пособие может быть рекомендовано для студентов, специализирующихся в области технологии тонких пленок, обучающихся по специальности Физика конденсированного вещества на кафедре Физика твердого тела и наносистем. Пособие также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов промышленности в области получения и исследования тонких пленок и наносистем. |
|---|---|
| Item Description: | Рекомендовано УМО Ядерные физика и технологии в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений |
| Physical Description: | 104 с. |
| ISBN: | 9785726210360 |