Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники учебное пособие
Лабораторный практикум состоит из базовых лабораторных работ в следующих областях физики и технологии наноструктурной электроники: методы исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники, современные методы наноструктурирования поверхности материалов в технологии микро- и наноэлектроник...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
НИЯУ МИФИ
2018
|
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
