Физические основы микро- и нанотехнологии учебное пособие
Изложены основные положения квантовой механики, вопросы строения и структуры традиционных конструкционных материалов. Рассмотрены физические основы базовых технологических операций в микро- и наноэлектронике: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, цифро...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Пермь
ПНИПУ
2011
|
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
