Физические основы микро- и нанотехнологии учебное пособие
Изложены основные положения квантовой механики, вопросы строения и структуры традиционных конструкционных материалов. Рассмотрены физические основы базовых технологических операций в микро- и наноэлектронике: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, цифро...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Пермь
ПНИПУ
2011
|
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| LEADER | 02891nam a22002771 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 005 | 20230306233818.0 | ||
| 007 | cr bn uu|uu | ||
| 008 | 210127s2011 ru Wk 000 m rus d | ||
| 020 | |a 9785398006384 | ||
| 040 | |a RU-ToGUA |b rus |c RU-ToGUA |e PSBO | ||
| 080 | |a 621.396 | ||
| 084 | |a 32.844 |2 rubbk | ||
| 100 | 1 | |a Иванов, А. С. | |
| 245 | 1 | 0 | |a Физические основы микро- и нанотехнологии |h Электронный ресурс |b учебное пособие |c Иванов А. С., Пахомов Г. И. |
| 260 | |a Пермь |b ПНИПУ |c 2011 | ||
| 300 | |a 311 с. | ||
| 500 | |a Утверждено Редакционно-издательским советом университета в качестве учебного пособия | ||
| 520 | 3 | |a Изложены основные положения квантовой механики, вопросы строения и структуры традиционных конструкционных материалов. Рассмотрены физические основы базовых технологических операций в микро- и наноэлектронике: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, цифровая обработка изображений, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы измерений в микро- и нанотехнике. Предназначено для студентов высших учебных заведений. Может быть полезно специалистам по радиоэлектронике. Издано в рамках программы опережающей профессиональной подготовки (уровень - магистратура), ориентированной на инвестиционные проекты в области производства погружных электронасосов для нефтедобычи и их узлов с наноструктурными покрытиями Фонда инфраструктурных и образовательных программ Роснано. | |
| 540 | |a Книга из коллекции ПНИПУ - Инженерно-технические науки | ||
| 695 | |i учебная | ||
| 700 | 1 | |a Пахомов, Г. И. |9 295338 | |
| 856 | 4 | |u https://e.lanbook.com/book/160409 |y ЭБС Лань | |
| 856 | 4 | 1 | |u https://e.lanbook.com/img/cover/book/160409.jpg |y ЭБС Лань |
| 856 | |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=801411 | ||
| 999 | |c 801411 |d 801411 | ||
| 039 | |z 2 |b 2 | ||