Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки учебник для вузов
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по напр...
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | , |
Format: | Book |
Language: | Russian |
Published: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
Subjects: | |
Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |