Введение в технологию материалов микроэлектроники. В 3 частях. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки учебник для вузов
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по напр...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Санкт-Петербург
Лань
2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
