Микроэлектромеханические системы (МЭМС) для управления потоками излучения монография
Микромеханика - отрасль современной науки и техники, в основе которой лежат технологии объемной и поверхностной обработки кремниевых пластин, применяемые в микроэлектронике. С помощью этих технологий можно изготавливать устройства с микро-размерными подвижными элементами. Микроэлектромеханичес...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Новосибирск
СГУГиТ
2022
|
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
