Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники Учебное пособие; Учебное пособие
Рассматриваются история и технологические основы электроники свойства химических элементов и их соединений основные технологические процессы микро- и наноэлектроники основные виды нанотехнологий и их изделий а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлени...
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Другие авторы: | , , , |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Вологда
Инфра-Инженерия
2023
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
