Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники Учебное пособие; Учебное пособие
Рассматриваются история и технологические основы электроники свойства химических элементов и их соединений основные технологические процессы микро- и наноэлектроники основные виды нанотехнологий и их изделий а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлени...
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Вологда
Инфра-Инженерия
2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Знаниум ЭБС Знаниум Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
| LEADER | 03275nam a22003851 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 2045 | ||
| 005 | 20231010222049.0 | ||
| 007 | cr bn uu|uu | ||
| 008 | 230825s2023 ru | 000 0 rus d | ||
| 020 | |a 9785972913169 | ||
| 040 | |a RU-ToGUA |b rus |c RU-ToGUA |e PSBO | ||
| 080 | |a 621 | ||
| 084 | |a 3284 |2 rubbk | ||
| 084 | |a 11.03.01 |2 okso | ||
| 084 | |a 11.03.02 |2 okso | ||
| 084 | |a 11.03.03 |2 okso | ||
| 084 | |a 11.03.04 |2 okso | ||
| 100 | 1 | |a Величко, Александр Андреевич |9 228586 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники |h [Электронный ресурс] |b Учебное пособие; Учебное пособие |c Новосибирский государственный технический университет; Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики |
| 260 | |a Вологда |b Инфра-Инженерия |c 2023 | ||
| 300 | |a 352 с. | ||
| 520 | 3 | |a Рассматриваются история и технологические основы электроники свойства химических элементов и их соединений основные технологические процессы микро- и наноэлектроники основные виды нанотехнологий и их изделий а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 Радиоэлектроника 11.03.02 Инфокоммуникационные технологии и системы связи 11.03.03 Конструирование и технология электронных средств 11.03.04 Электроника и наноэлектроника а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей. | |
| 540 | |a ВО - Бакалавриат | ||
| 650 | 4 | |a Радиоэлектроника. Автоматика. Связь |x Микроэлектроника. Наноэлектроника |2 local | |
| 655 | 0 | 4 | |a Учебное пособие |2 local |9 12755 |
| 700 | 1 | |a Гришина, Ирина Владимировна |9 410229 | |
| 700 | 1 | |a Игнатов, Александр Николаевич |9 110098 | |
| 700 | 1 | |a Фадеева, Наталья Евгеньевна |9 363961 | |
| 700 | 1 | |a Филимонова, Нина Ивановна |9 231085 | |
| 710 | 2 | |a Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики |9 34240 | |
| 856 | 4 | |a znanium.com |m ebs_support@infra-m.ru |n НИЦ ИНФРА-М |u https://znanium.com/catalog/document?id=434812 |y ЭБС Знаниум | |
| 856 | 4 | 1 | |a znanium.com |d /cover/2102 |f 2102045.jpg |q image/jpeg |u https://znanium.com/cover/2102/2102045.jpg |y ЭБС Знаниум |
| 856 | |y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=851665 | ||
| 999 | |c 851665 |d 851665 | ||
| 039 | |z 2 |b 2 | ||