Метод формирования тонких пленок с заданным стехиометрическим распределением состава по толщине

Библиографическая информация
Опубликовано в: :	Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век vtls000162982
Другие авторы:	Комлев, А. Е., Вольпяс, В. А., Платонов, Р. А., Алтынников, А. Г., Козырев, А. Б.
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	сегнетоэлектрик композитные материалы ионно-плазменное напыление тонкие пленки
Online-ссылка:	Перейти в каталог НТБ ТГАСУ

Похожие документы