Метод формирования тонких пленок с заданным стехиометрическим распределением состава по толщине

Метод формирования тонких пленок с заданным стехиометрическим распределением состава по толщине

Bibliographic Details
Published in:Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век vtls000162982
Other Authors: Комлев, А. Е., Вольпяс, В. А., Платонов, Р. А., Алтынников, А. Г., Козырев, А. Б.
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
сегнетоэлектрик
композитные материалы
ионно-плазменное напыление
тонкие пленки
Online Access:Перейти в каталог НТБ ТГАСУ
Description
Bibliography:Библиогр.:24 назв.
ISSN:2225-0980

Similar Items