Метод формирования тонких пленок с заданным стехиометрическим распределением состава по толщине

Bibliographic Details
Published in:	Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век vtls000162982
Other Authors:	Комлев, А. Е., Вольпяс, В. А., Платонов, Р. А., Алтынников, А. Г., Козырев, А. Б.
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	сегнетоэлектрик композитные материалы ионно-плазменное напыление тонкие пленки
Online Access:	Перейти в каталог НТБ ТГАСУ


LEADER	01309aab a2200229 4500
008	231211\|2023 ru \|\| p\|\|\| 000 c\|rus d
040			\|a RU-ToGUA \|b rus \|c RU-ToGUA \|d PSBO
245	1	0	\|a Метод формирования тонких пленок с заданным стехиометрическим распределением состава по толщине \|c А. Е. Комлев, В. А. Вольпяс, Р. А. Платонов [и др.]
504			\|a Библиогр.:24 назв.
650		4	\|a сегнетоэлектрик \|9 412287
650		4	\|a композитные материалы \|9 40534
650		4	\|a ионно-плазменное напыление \|9 412288
650		4	\|a тонкие пленки \|9 78243
700	1		\|a Комлев, А. Е. \|9 412289
700	1		\|a Вольпяс, В. А. \|9 412290
700	1		\|a Платонов, Р. А. \|9 412291
700	1		\|a Алтынников, А. Г. \|9 412292
700	1		\|a Козырев, А. Б. \|9 412293
773	0		\|w vtls000162982 \|t Нанотехнологии: разработка, применение - XXI век \|x 2225-0980 \|g 2023. -Т. 15, № 1. -С. 32-40.
856			\|y Перейти в каталог НТБ ТГАСУ \|u https://catalog.tsuab.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=853786
999			\|c 853786 \|d 853786
039			\|z 3248 \|b 3248

Similar Items