Наноэлектронные приборы и структуры методические указания к проведению лабораторных работ по дисциплине нанотехнологии для студентов направления 28.03.02 наноинженерия и по дисциплине наноэлектроника для студентов направления 11.03.04 электроника и наноэлектроника всех форм обучения
В методических указаниях рассматриваются основные принципы работы в САПР технологического уровня применительно к дискретным микро- и наноэлектронным приборам и приборам на квантовых эффектах. Приводятся базовые методы построения моделей микроэлектронных устройств и технология построения их геометр...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Воронеж
ВГТУ
2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | ЭБС Лань ЭБС Лань Перейти в каталог НТБ ТГАСУ |
