Физика субмикронной литографии: научное издание/
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Наука
1990
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 527, [1] с.: а-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр. в конце глав |
| ISBN: | 5020143812 |