Физика субмикронной литографии: научное издание/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Наука
1990
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 527, [1] с.: а-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр. в конце глав |
| ISBN: | 5020143812 |